多通道霍尔测试系统HSMC-10
HSMC-10多通道霍尔测试系统能够为多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和大型晶圆片提供一个变磁的环境。测试温度:室温或者77K液氮低温,矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择,适用于多电极样品,有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间、快速零磁场控制功能。
您的位置:首页 > 沙巴体育平台 > 霍尔效应测试系统 > 多通道霍尔测试系统HSMC系列
HSMC-10多通道霍尔测试系统能够为多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和大型晶圆片提供一个变磁的环境。测试温度:室温或者77K液氮低温,矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择,适用于多电极样品,有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间、快速零磁场控制功能。
HSMC-10多通道霍尔测试系统能够为多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和大型晶圆片提供一个变磁的环境。系统有77K液氮单点选件,提供样品在77K低温下完成霍尔效应测量。搭配霍尔测试仪,能够准确测得低迁移率材料的电学性能可在电磁场、液氮低温环境(77K)下,对多种类型样品进行快速自动化测试,以获取样品的霍尔参数,包含待测样品的电阻率、霍尔电压、霍尔系数、载流子浓度、霍尔迁移率和载流子类型等,填补传统的霍尔测试仪器只能测量制备成型后样品的空白。
系统特点:
• 具有行业先进的快速霍尔效应测试功能和数据分析功能,大大降低测量时间;
• 矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择,适用于多电极样品;
• 可定制电磁铁能够实现大磁场均匀区,适用于大样品;
• 具有24电极自动选择、切换测试和数据分析功能;
• 具有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间、快速零磁场控制功能;
• 具有自动进样功能,可支持重达1kg待测样品自动化进样;
• 具有丰富样品测试支架可选,可测圆柱型晶锭、D型晶锭、晶圆片(2寸、4寸和6寸)等各形各尺寸样品;
• 具有数据采集、整理、分析、输出功能,同时具备报告定制和导出功能;
• 具有系统可扩展性,升级后最多可支持32电极自动切换测试。
• 测试温度:室温或者77K液氮低温;
参数和指标:
测量参数 | |
待测样品尺寸 | 支持6寸或更大,兼容4寸和2寸 |
迁移率 | 0.01~1×106cm2/Vs |
标配电阻测量范围 | 10mΩ ~ 10MΩ |
低温温区 | 77K |
霍尔测试最小R2 | 0.9999 |
矩阵开关参数 | |
开关类型 | EMR |
通道 | 共(4Bank×16CH/Bank)通道:4组,每组1切16 |
切换时间(Typ) | 6ms |
开关承载电压 | 300VDC/250VAC |
开关承载电流 | 切换电流/持续电流:1A,脉冲电流:6A@100ms |
样品类型 | |
圆柱型晶锭 | 圆柱型晶锭为圆柱体或者类圆柱体,晶锭上可有多个电极 |
D型晶锭 | 沿圆柱型晶锭轴线对半剖开所得,晶锭上可有多个电极 |
晶圆片 | 2寸、4寸和6寸样品 |
电磁铁 | |
磁场范围 | 0.1T~1T@50A(Φ300mm极面,固定气隙75mm中心) |
磁场步长 | 10Gs |
磁场均匀度 | 75mm气隙中心磁场优于1.0T@50A(φ300mm极面)工作时间30min 均匀区Φ150*30mm,均匀度 1% 均匀区Φ200*50mm,均匀度 5% 1%@(30*Φ150mm),5%@(50*Φ200mm),重量:2337KG |
电磁铁电源 | |
输出功率 | 10 kW @ AC 380 V ±10%(50 ~60 Hz) |
输出电流 | 50 A |
重量 | 30 kg |
二维步进电机 | |
水平X行程 | 400mm |
垂直Z行程(带刹车) | 700mm |
77K液氮单点系统 | |
液氮容积 | 约3.38L |
恒温器内尺寸(mm) | 190*54*33 |
测试温度 | 室温和77K液氮单点 |